手動探針臺

　　一、操作前準(zhǔn)備

　　1、‌環(huán)境檢查‌：

　　確保操作環(huán)境清潔、干燥，無灰塵和雜質(zhì)。檢查操作臺面是否穩(wěn)定，無晃動或傾斜。

　　2、‌設(shè)備檢查‌：

　　檢查探針臺各部件是否完好，無損壞或松動。確認探針和針頭清潔無油污，無磨損或損壞。檢查真空系統(tǒng)(如適用)是否正常，無泄漏現(xiàn)象。

　　3、‌樣品準(zhǔn)備‌：

　　確保樣品表面清潔，無雜質(zhì)或污染物。根據(jù)測試需求，將樣品正確放置在探針臺的工作區(qū)域。

　　二、操作步驟

　　1、‌開啟設(shè)備‌：

　　按照設(shè)備說明書的要求，開啟探針臺電源和相關(guān)輔助設(shè)備(如顯微鏡、照明等)。

　　2、‌安裝探針‌：

　　根據(jù)測試需求，選擇合適的探針并安裝到探針臺上。確保探針安裝牢固，無松動或晃動現(xiàn)象。

　　3、‌調(diào)整探針位置‌：

　　使用探針臺的微調(diào)裝置，將探針緩慢移動到樣品上方。通過顯微鏡觀察探針與樣品的位置關(guān)系，確保探針準(zhǔn)確對準(zhǔn)測試點。

　　4、‌施加壓力‌：

　　根據(jù)測試需求，通過探針臺的壓力調(diào)節(jié)裝置，施加適當(dāng)?shù)膲毫Φ教结樕�。注意壓力不要過大，以免損壞樣品或探針。

　　‌5、進行測試‌：

　　在施加壓力的同時，通過測試儀器(如萬用表、示波器等)觀察測試數(shù)據(jù)。記錄測試數(shù)據(jù)，并根據(jù)需要進行多次測試以驗證結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　‌6、結(jié)束測試‌：

　　測試完成后，緩慢抬起探針，避免與樣品發(fā)生碰撞。關(guān)閉測試儀器和探針臺電源，清理操作區(qū)域。

　　通過上述介紹可知，手動探針臺的操作精度直接決定研發(fā)成果的可靠性，通過建立標(biāo)準(zhǔn)化操作流程、掌握故障診斷方法、實施預(yù)防性維護，可顯著提升測試效率與數(shù)據(jù)質(zhì)量。