射頻探針臺

　　1、‌設(shè)備準(zhǔn)備與初始化‌

　　連接測試電纜與探針，檢查設(shè)備完整性，佩戴防靜電手環(huán)。開啟電源后預(yù)熱1-2分鐘，啟動測試軟件并初始化操作界面。通過軟件選擇測試模式，設(shè)置頻率范圍、功率等參數(shù)，為測試做好基礎(chǔ)配置。

　　‌2、樣品固定與光學(xué)定位‌

　　將晶圓置于真空卡盤，啟動真空吸附系統(tǒng)固定樣品。先用低倍物鏡快速定位樣品，再切換高倍物鏡聚焦，通過X/Y軸控制旋鈕調(diào)整卡盤位置，使待測點處于顯微鏡視場中心。

　　‌3、探針校準(zhǔn)與接觸控制‌

　　調(diào)節(jié)顯微鏡Z軸至合適高度，設(shè)置探針扎針高度參數(shù)。通過X/Y/Z軸微調(diào)旋鈕移動探針，先粗調(diào)至待測點附近，再以毫米級精度進行微調(diào)。接觸時需遵循"Y軸回退-Z軸下壓-X軸滑動"的規(guī)范流程，通過劃痕確認(rèn)接觸狀態(tài)。

　　4、‌測試執(zhí)行與數(shù)據(jù)采集‌

　　啟動測試設(shè)備，系統(tǒng)自動完成信號傳輸、數(shù)據(jù)采集與分析。測試完成后，操作探針座X/Y/Z軸旋鈕使探針脫離接觸，關(guān)閉真空吸附系統(tǒng)并安全卸載晶圓。

　　所以，掌握射頻探針臺正確的使用方法，不僅能確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確可靠，更能大大提高研發(fā)和生產(chǎn)的效率。從芯片設(shè)計驗證到成品質(zhì)量控制，射頻探針臺都扮演著不可或缺的角色。