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手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式手動(dòng)探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。那么手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式是怎樣的呢?下面就跟隨鍵德測(cè)試測(cè)量小編一起來(lái)看看吧! 手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式: 1.將樣品載入真空卡盤,開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。 2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。 3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。 4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。 5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。 6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。 綜上所述,就是手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式了,手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。 |