真空探針臺

　　一、準(zhǔn)備工作

　　檢查設(shè)備：確保真空探針臺的電源和氣源連接正常，設(shè)備表面干凈整潔無灰塵。同時，檢查探針、電纜等配件是否完好無損。

　　佩戴防護(hù)用品：為了保護(hù)操作人員的安全，需要佩戴相應(yīng)的手套、防靜電手環(huán)等防護(hù)用品。

　　二、樣品放置與定位

　　樣品載入：將待測樣品載入真空卡盤，確保樣品安全牢固地吸附在卡盤上。對于某些型號的真空探針臺，可能需要通過真空閥控制開關(guān)來實現(xiàn)樣品的吸附。

　　樣品定位：使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，將樣品待測試點移至顯微鏡下。此時，可以先使用低倍物鏡確定樣品的大致位置，然后切換為高倍物鏡進(jìn)行精確定位。

　　三、探針調(diào)整與測試

　　探針安裝：根據(jù)測試需求，選擇合適的探針并安裝在探針座上。確保探針安裝牢固，避免在測試過程中脫落或損壞。

　　探針移動：使用探針座X、Y、Z三個微調(diào)旋鈕慢慢地將探針移動到被測點。在移動過程中要小心謹(jǐn)慎，防止探針誤傷樣品。當(dāng)探針尖端懸掛在被測點上方時，可以先用Y軸旋鈕稍微后退一點，然后用Z軸旋鈕下針。

　　接觸測試：確保針尖與被測點接觸良好后，可以通過連接測試設(shè)備開始測試。測試過程中要密切關(guān)注設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和測試結(jié)果，確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。

　　四、測試結(jié)束與清理

　　測試結(jié)束：完成測試后，將探針臺拉桿抬起(如果設(shè)備具有此功能)，將探針回到初始化位置，防止錯誤操作。同時，將chuck降下(如果設(shè)備具有此功能)，以便取出樣品。

　　設(shè)備清理：關(guān)閉真空泵和光源等設(shè)備的開關(guān)，斷開電源和氣源連接。對設(shè)備進(jìn)行必要的清理和保養(yǎng)工作，以確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

　　以上就是真空探針臺的使用方法了，不過需要注意的是，上述僅為真空探針臺的一般使用方法，具體操作步驟可能因設(shè)備和測試需求的不同而有所差異。因此，在使用前請務(wù)必仔細(xì)閱讀真空探針臺的操作手冊并遵循相關(guān)操作規(guī)范。